华海清科(688120.SH)：自主研发的清洗设备已批量用于公司晶圆再生生产，预计2023年推向相关细分市场2023-05-08 16:44:53 | 来源：格隆汇 | 查看： | 评论：0

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格隆汇5月8日丨华海清科(688120.SH)披露投资者关系活动记录表，问答环节中，就“公司其他半导体设备有何进展？”，公司回复称，公司自主研发的清洗设备已批量用于公司晶圆再生生产，预计2023年推向相关细分市场；金属薄膜厚度测量设备已实现小批量出货，在客户端表现出色，已在高端制程完成部分工艺验证，非金属的膜厚量测产品也在研发中；用于湿法工艺设备中研磨液、清洗液等化学品供应的HSDS/HCDS供液系统设备已获得批量采购，主要分为直接销售及作为CMP设备附属设备配套销售，目前以配套销售为主。

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